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压阻式传感器有一个稳定的结构,由微加工和半导体生产技术创建的硅芯片组成。一个质量和一个横梁,其上有一组压阻电阻器在硅芯片上被创造出来。一组电桥是由这种压阻电阻器形成的,以产生与应用的加速度成比例的信号。
特点
测量可以在广泛的频率范围内进行,包括从超低频到几千赫兹的高频。
结构紧凑,重量轻
高灵敏度
具有高度的抗加速性
频率响应
可用频率的上限取决于传感器本身组成的阻尼器的特性。较低的可用频率下降到直流。
压阻式传感器有一个稳定的结构,由微加工和半导体生产技术创建的硅芯片组成。一个质量和一个横梁,其上有一组压阻电阻器在硅芯片上被创造出来。一组电桥是由这种压阻电阻器形成的,以产生与应用的加速度成比例的信号。
可用频率的上限取决于传感器本身组成的阻尼器的特性。较低的可用频率下降到直流。